Мостики над микросхемой экспресс
В микросхемах провода обычно лежат на поверхности, как рельсы на земле. Но иногда нужно, чтобы один провод перепрыгнул через другой, не касаясь его. Для этого строят воздушные мостики — тонкие металлические дуги, висящие над платой.
Раньше такой мостик собирали в несколько приёмов: наносили слой, облучали, травили, повторяли. Каждый приём — шанс что-то испортить. Новая работа показывает: хватит одного прохода электронного луча. Луч рисует сразу весь мостик, а потом пластинку слегка нагревают — и металл сам выгибается ровной дугой, как лист бумаги над огнём.
Проверили на квантовых чипах: мостики не мешают сигналу, зато защищают его от лишних помех. Время, в течение которого квантовый бит сохраняет свою фазу, выросло в два с половиной раза. Значит, квантовые компьютеры смогут считать дольше без ошибок.
Так один из самых капризных этапов сборки превратился в простую печать. Чем меньше шагов — тем меньше брака и тем дешевле будущие устройства.
Оригинальная аннотация
как её написали авторы, на английском arXiv:2601.16416
Airbridges are essential for creating high-performance, low-parasitic interconnects in integrated circuits and quantum devices. Conventional multi-step fabrication methods hinder miniaturization and introduce process-related defects. We report a simplified process for fabricating nanoscale airbridges using only a single electron-beam lithography step. By optimizing a multilayer resist stack with a triple-exposure-dose scheme and a thermal reflow step, we achieve smooth, suspended metallic bridges with sub-200-nm features that exhibit robust mechanical stability. Fabricated within a gradiometric SQUID design for superconducting transmon qubits, these airbridges introduce no measurable additional loss in the relaxation time $$T_1$$, while enabling a 2.5-fold enhancement of the dephasing time $$T_2^*$$. This efficient method offers a practical route toward integrating high-performance three-dimensional interconnects in advanced quantum and nano-electronic devices.
Воздушные мостики впервые понадобились не для квантовых чипов, а для обычных радиосхем: чтобы сигнал не задерживался в перекрёстках проводов.