метод

литография

Процесс, используемый в микроэлектронике для формирования рисунка на части тонкой плёнки или подложки.
44 статьи

Описание

Литография — это ключевой метод формирования рисунка в микроэлектронике, используемый для переноса геометрических форм на тонкую плёнку или подложку. Именно благодаря ей современные микросхемы, датчики и фотонные устройства могут вмещать миллиарды элементов на одном кристалле. Процесс заключается в нанесении на поверхность светочувствительного материала (резиста), облучении выбранных участков излучением (обычно ультрафиолетовым светом, но также электронными пучками или рентгеновскими лучами) и последующем химическом проявлении резиста для создания маски. Эта маска защищает части нижележащего слоя при травлении или осаждении, так что рисунок физически вырезается в материале.

История

Метод развился из фотолитографии, применявшейся в полиграфии, и был адаптирован для производства полупроводников в конце 1950-х годов, в частности Джеем Лэтропом и Джеймсом Ноллом в Лабораториях алмазных взрывателей Армии США в 1957 году.

Как это работает

Основной механизм — селективное облучение. Маска или сканирующий пучок определяет, какие области резиста изменяются. В оптической литографии свет проходит через фотошаблон, проецируя рисунок на резист; в электронно-лучевой литографии сфокусированный пучок записывает рисунок напрямую. После проявления резист действует как трафарет: открытые участки удаляются или затвердевают в зависимости от типа резиста. Последующие этапы — травление, ионная имплантация или рост тонких плёнок — переносят рисунок в функциональный материал. Предел разрешения определяется длиной волны излучения и оптикой, поэтому передовые методы используют экстремальный ультрафиолет или электронные пучки.

Где применяется

Литография используется для изготовления интегральных схем, микроэлектромеханических систем (МЭМС), фотонных чипов и даже микрофлюидных каналов для устройств «лаборатория-на-чипе».

Любопытный факт

Современная экстремальная ультрафиолетовая литография использует свет с длиной волны 13,5 нанометра — примерно в 40 раз короче видимого света — и требует зеркал с многослойным покрытием из молибдена и кремния, поскольку ни одна линза не может сфокусировать такое излучение.

Граф понятий →

Статьи по теме · 44

Как изогнуть линейку, чтобы она повторяла форму глобуса
Глобус стоит на столе, а линейка лежит рядом: одна изогнута, другая прямая. Рентгеновские телескопы годами жили с этой нестыковкой. Их зеркала собирают свет на изогнутую поверхность, как глобус, а детекторы, которые этот свет ловят, были плоскими, как линейка.
Плоский лист сам превращается в купол: обратный дизайн полимерной тенсегрити
Лист бумаги, оставленный на мокром столе, коробится и приподнимает края. Никто не управляет этим движением, но оно происходит по тем же законам, что и рост растения: одни области листа сжимаются сильнее других, и плоская форма превращается в объёмную. Инженеры давно мечтали приручить этот процесс, чтобы плоская заготовка сама складывалась в нужную скульптуру.
Невидимая перестройка: как скрученные кристаллы находят новый порядок
Колода карт, в которой каждая карта слегка повёрнута, не может лечь ровно: рубашки и рисунки никак не совпадут. Но если карты гибкие, они начнут подстраиваться, сдвигаясь на доли миллиметра, чтобы найти идеальное совпадение. Нечто похожее происходит внутри кристаллов, когда два толстых слоя MoS2 или MoS2 с WS2 складывают с поворотом на 1–2 градуса.
Прикладная физика2026-08-211 минarXiv:2608.21190экспресс
Жидкость сама строит космические фермы
Космическая стройка сегодня — это дорогая возня с готовыми деталями: каждую панель надо поднять с Земли, а потом собирать в невесомости, как конструктор в толстых перчатках. Инженеры из новой работы предлагают иной путь: не таскать и не печатать, а позволить жидкости самой вылепить конструкцию.
Случайные неоднородности в метаматериалах: почему прозрачность сохраняется
Свет, падая на обычный пластик, частично отражается — возникает блик, как на оконном стекле. Чтобы подавить эти отражения, на поверхность наносят специальное покрытие из микроскопических элементов, которые гасят отражённую волну.
Мезоскопика2026-08-161 минarXiv:2608.15846экспресс
Сканируя границы: как ровные швы делают сверхчувствительные сенсоры
Сверхпроводящий квантовый интерферометр — это прибор, чувствующий магнитное поле в миллиарды раз слабее, чем стрелка обычного компаса. Внутри него есть узкий мостик, где сверхпроводимость на мгновение прерывается. Этот мостик работает как турникет для магнитного потока: считая, сколько квантов потока прошло, прибор измеряет поле.
Оптика2026-08-161 минarXiv:2608.15936экспресс
Свет, запертый в кристалле: дешёвый путь к быстрым чипам
Свет можно заставить поворачивать по команде, как воду в шланге — если знать, где нажать. Именно это делают электрооптические схемы: меняют направление луча внутри чипа электрическим полем. Классический материал для таких фокусов — ниобат лития, кристалл, который откликается на напряжение, как струна на щипок.
Оптика2026-06-201 минarXiv:2606.21825экспресс
Широкополосная плазмонная маскировка: как многослойная оболочка делает объект невидимым в видимом спектре
Представьте многослойную оболочку, где слои металла и изолятора чередуются подобно листам в книге. Такая структура способна сделать скрытый внутри предмет невидимым для наблюдателя. Свет огибает её, как вода плавно обтекает гладкий камень: ни ряби, ни всплеска — ни отражения, ни тени.
Прикладная физика2026-06-072 минarXiv:2606.08524экспресс
Акустическая маскировка: звук подменяет реальность
Если хлопнуть в ладоши в пустой комнате, эхо расскажет о её размерах и форме. Каждый предмет — стул, книга, человек — добавляет в это эхо свою подпись: звук отражается от него особым образом. Авторы статьи придумали, как полностью переписать эту звуковую подпись. Они окружили область пространства замкнутой поверхностью из микрофонов и динамиков.
Оптика2026-05-301 минarXiv:2606.00565экспресс
Шарики-невидимки: охлаждение, которому всё равно на размер
Два белых листа лежат на солнце — один шершавый, другой гладкий. Какой нагреется меньше? Шершавый рассеивает свет сильнее, и кажется, что он останется прохладнее. Но если покрытие состоит из множества прозрачных стеклянных шариков, логика меняется. Свет блуждает в нём, как в густом тумане, и в какой-то момент перестаёт замечать отдельные капли.
Квантовая физика2026-04-281 минarXiv:2604.25195экспресс
Джозефсоновские контакты: проще некуда
Мостик из алюминия толщиной в несколько атомов — сердце многих квантовых приборов. Через такой мостик ток течёт без сопротивления, и им можно управлять магнитным полем. Такие мостики называют джозефсоновскими контактами — по имени британского физика, который описал их поведение. Обычно их делают с помощью электронного луча, но это дорого и медленно.
Материаловедение2026-04-161 минarXiv:2604.14821экспресс
Как плавится сплав: узоры из расплава
В твёрдом куске сплава олова и свинца слои двух металлов лежат, как страницы в книге. При нагреве с одной стороны слои плавятся не равномерно, а причудливыми языками и пальцами. Учёные изучили этот процесс на прозрачном сплаве, который под микроскопом виден насквозь, и сравнили с компьютерной моделью.
Оптика2026-04-101 минarXiv:2604.08957экспресс
Гребёнка из оксида шириной в два атома
Обычная фотолитография, которой делают чипы, упирается в предел: свет не может нарисовать детали меньше своей длины волны. Здесь пошли другим путём. Сначала сделали редкие вертикальные рёбра из оксида, а затем стали осаждать на них слои оксида алюминия толщиной в один атом.
Оптика2026-04-041 минarXiv:2604.03771экспресс
Свет находит свой карман
Свет, проходя через мутную среду — например, стакан с молоком или матовое стекло, — рассеивается во все стороны. Но иногда вместо того, чтобы разбежаться, он застревает в крошечных «карманах» внутри материала. Эти карманы физики называют локализованными модами: свет в них словно попадает в ловушку и не может выбраться наружу.
Мезоскопика2026-04-031 минarXiv:2604.03483экспресс
Квантовый микроскоп крутит слои
Стопка бумаги: если листы лежат ровно один на другом, свет сквозь них проходит одинаково. Но стоит повернуть один лист на несколько градусов, и картина меняется. Примерно так же ведут себя слои в некоторых материалах: повернёшь их друг относительно друга — и свойства меняются, иногда радикально. Спектроскопия тут ни при чём — точнее, это не тот метод.
Материаловедение2026-04-011 минarXiv:2604.00483экспресс
Как увидеть невидимое: электрические узоры внутри кристалла
На поверхности тонкой плёнки из оксида висмута-железа видны ровные полоски — как бороздки на вспаханном поле. Что творится под ними, до сих пор оставалось загадкой. Новый прибор под названием DREDI просвечивает материал электронами и за доли секунды строит карту электрических полей на разной глубине с точностью до десяти нанометров — это в тысячу раз тоньше человеческого волоса.
Оптика2026-03-291 минarXiv:2603.27574экспресс
Пустоты, которые ловят свет и рождают цвет
Обычный лист бумаги кажется белым, потому что хаотично рассеивает все лучи. А крыло бабочки переливается синим и зелёным без единой капли краски — его поверхность покрыта микроскопическими бороздками, которые гасят одни волны света и усиливают другие. Инженеры давно мечтают повторить этот трюк: создать материал, который окрашивает сам себя, просто задерживая свет в нужных местах.
Биофизика2026-03-211 минarXiv:2603.20764экспресс
Искусственный интеллект следит за микробами: нейросеть против флуоресценции
Чтобы не потерять в кадре быстрого футболиста, дрону не нужен яркий маячок — достаточно узнавать силуэт. Такой же подход теперь применяют в микробиологии: нейросеть анализирует обычное изображение с микроскопа и мгновенно находит бактерию в капле воды, опираясь только на её естественную форму.
Оптика2026-03-191 минarXiv:2603.18518экспресс
Лазер рисует невидимый ключ
Лазерный луч бьёт по плёнке из золота и серебра всего несколько наносекунд — за это время свет успевает пройти расстояние меньше метра. В точке удара металл вскипает, разбрызгивается и застывает случайным узором из крошечных частиц. Каждый такой узор неповторим, как трещины на льду или ветви дерева.
Медицинская физика2026-03-151 минarXiv:2603.14555экспресс
Как заглянуть внутрь волокон без томографии
Волокна в композитах, бумаге или биологических тканях часто скрыты от глаз, но их ориентация определяет прочность и свойства материала. Раньше, чтобы увидеть направления волокон, приходилось делать много снимков под разными углами и собирать трёхмерную картину — как будто нарезать батон тонкими ломтиками. Для тонких образцов такой подход не годится: ломтиков не нарезать.
Материаловедение2026-03-111 минarXiv:2603.10892экспресс
Заморозить, чтобы увидеть квантовый мир
Квантовые материалы — как капризные цветы: распускаются только в холоде. При комнатной температуре они прячут свои необычные свойства, а при сильном охлаждении становятся сверхпроводниками или меняют магнитное поведение. Чтобы понять, как они работают, нужно рассмотреть их атомы в том самом холоде, где эти свойства живут.
МРТ, который помещается в рюкзак
Обычный аппарат МРТ — это огромный магнит, который не сдвинешь с места, и мощный компьютер, превращающий сигналы от тела в картинку. В последние годы появились портативные томографы с более слабым полем: они лёгкие, дешёвые и могут работать в полевом госпитале или в машине скорой помощи. Но у них беда с вычислительной частью — встроенный процессор не тянет современные алгоритмы, которые делают снимок чётким.
Нити, которые сами выбирают форму
Щупальце осьминога изгибается, хватает и тянется — и всё это без единой кости. Секрет в том, что внутри него чередуются участки, которые сокращаются, и участки, которые остаются пассивными. Учёные давно пытаются повторить этот трюк в искусственных материалах, но до сих пор не могли точно задать, как именно материал будет менять форму.
Квантовая физика2026-02-281 минarXiv:2603.00441экспресс
Тонкая плёнка для квантового чипа
Квантовый компьютер похож на музыкальный инструмент: даже крошечная царапина на струне портит звук. Вместо струн — сверхпроводящие резонаторы, тонкие дорожки из нитрида титана на кремниевой пластине. Они должны хранить квантовую информацию, но любая неровность или лишний атом на поверхности забирает энергию, как трещина в колоколе гасит звон.
Материаловедение2026-02-261 минarXiv:2602.23494экспресс
Магнит, который рождается из изгиба
Кусок золота не притягивает скрепки. Но если взять тонкую плёнку из сплава гадолиния, золота и германия и начать её изгибать, в ней могут появиться магнитные области. Учёные сделали это не руками, а с помощью потока ионов гелия, который проникал в материал через узорчатую маску. Ионы гелия врезались в кристаллическую решётку и слегка растягивали её в одних местах сильнее, чем в других.
Оптика2026-02-201 минarXiv:2602.18418экспресс
Свет, который подстраивается сам
Когда два луча света встречаются в кристалле, они могут породить третий луч с другой частотой. Чтобы этот процесс шёл эффективно, нужно, чтобы волны шагали в ногу — как два человека, которые идут рядом и не сбиваются с шага. Раньше для этого использовали два старых приёма: либо подбирали кристалл с нужными свойствами, либо нарезали его на тонкие слои.
Мезоскопика2026-02-131 минarXiv:2602.12844экспресс
Электронный танец в графене: кино со скоростью света
Лист графена — решётка из атомов углерода, похожая на пчелиные соты. Электроны в нём носятся так быстро, будто у них нет массы, как у света. Когда на такой лист падает мощный лазерный импульс, электроны получают пинок и начинают разгоняться. Их путь можно сравнить с дорогой, на которой иногда встречаются шлагбаумы — запрещённые зоны.
Оптика2026-02-081 минarXiv:2602.07792экспресс
Светящиеся полоски в кристалле: как рассмотреть сердце фотонного чипа
Кристалл ниобата лития похож на слоёный пирог: внутри него электрические поля чередуются, как начинка. Если такой кристалл нарезать тонкими плёнками и нанести на них полоски с разной полярностью, получится периодическая структура — она заставляет свет менять цвет при прохождении. Так рождаются пары фотонов, связанные между собой, как близнецы.
Оптика2026-02-061 минarXiv:2602.06316экспресс
Лазер рисует тонкие каналы для воды
Луч лазера проходит сквозь стекло и касается тонкой алмазной плёнки. В месте касания плёнка превращается в узкую полоску, которая слегка приподнимается. Рядом кладём вторую такую полоску — и между ними остаётся пустой коридор. Это и есть канал: ширина его может быть в пятьдесят раз больше высоты, как лист бумаги, лежащий на столе.
Оптика2026-02-061 минarXiv:2602.07222экспресс
Свет, запертый в стекле: миниатюрные преобразователи лучей
Луч света, проходя через кусок стекла, обычно просто слегка изгибается. Но если внутри стекла выгравировать лазером тончайшие узоры, свет можно заставить разложиться на отдельные пучки, как белый свет расходится в радугу после дождя. Именно такую задачу решили авторы: они создали миниатюрный преобразователь света размером с крупинку соли — всего треть миллиметра в длину.
Оптика2026-01-311 минarXiv:2602.00591экспресс
Кольцо, которое не мешает свету
Терагерцовое излучение лежит между микроволнами и инфракрасным светом. Оно проходит сквозь одежду, бумагу и пластик, но не сквозь металл и воду. Поэтому его используют в сканерах безопасности и медицинской визуализации. Чтобы увидеть поляризацию такого излучения, нужен детектор.
Оптика2026-01-312 минarXiv:2602.00830экспресс
Наклонная решётка превращает слабый свет в чистый цвет
Жалюзи, которые не просто пропускают или задерживают свет, а меняют его цвет. Свет падает на наклонные полоски, и часть лучей выходит уже другого оттенка — как если бы белый луч, пройдя сквозь щели, становился зелёным. Именно так работает новая поверхность: на тонкой плёнке ниобата лития (материал, который умеет преобразовывать свет) лежат наклонные полоски диоксида титана.
Медицинская физика2026-01-291 минarXiv:2602.07003экспресс
Как разглядеть, что внутри клетки
Зимой лужи замерзают, и лёд разрывает асфальт. Внутри живой клетки при заморозке происходит похожее: кристаллы льда рвут её оболочку. Чтобы этого избежать, клетку пропитывают особым раствором — как антифризом для автомобиля. Но тут нужна точность: мало раствора — лёд всё равно образуется, много — раствор сам отравляет клетку.
Оптика2026-01-251 минarXiv:2601.17719экспресс
Невидимый щит для идеального поглотителя света
Обычный лазер усиливает свет до яркого луча. Если запустить этот процесс в обратную сторону, получится антилазер — устройство, которое всасывает свет без остатка. Но такая машина капризна: достаточно лёгкого беспорядка, чтобы поглощение сорвалось. Физики нашли способ сделать антилазер неуязвимым.
Оптика2026-01-251 минarXiv:2601.17816экспресс
Печать света: миллион точек в секунду
Обычный 3D-принтер выдавливает пластик, как кондитер крем из мешка. Здесь вместо пластика — свет. Лазерный луч рисует в жидкой смоле, заставляя её затвердевать в нужных точках. Так рождаются детали, которые не разглядеть без микроскопа. До сих пор такие принтеры работали медленно: луч полз по поверхности, как перо по бумаге. Новая машина меняет игру.
Квантовая физика2026-01-231 минarXiv:2601.16416экспресс
Мостики над микросхемой
В микросхемах провода обычно лежат на поверхности, как рельсы на земле. Но иногда нужно, чтобы один провод перепрыгнул через другой, не касаясь его. Для этого строят воздушные мостики — тонкие металлические дуги, висящие над платой. Раньше такой мостик собирали в несколько приёмов: наносили слой, облучали, травили, повторяли. Каждый приём — шанс что-то испортить.
Оптика2026-01-231 минarXiv:2601.16904экспресс
Микроскоп видит клетки как художник
Патологоанатом смотрит в окуляр и видит розово-фиолетовый срез ткани — так выглядит классическая окраска гематоксилином и эозином. Красители связываются с ядрами и цитоплазмой, и по цвету врач судит о болезни. Но сама подготовка стекла занимает часы: фиксация, заливка парафином, нарезка, окрашивание. Новый прибор обходится без краски.
Материаловедение2026-01-211 минarXiv:2601.14576экспресс
Печать электроники из одной капли
Принтер, который печатает не чернилами, а металлом и керамикой, — теперь реальность. Учёные взяли обычную каплю воды с растворёнными солями металлов и заставили её осаждать на поверхность то медь, то оксид цинка, то гидроксид никеля. Всё это — с точностью до миллионных долей метра. Секрет в электричестве. Капля висит на кончике тонкой иглы, а под поверхностью пропускают слабый ток.
Биофизика2026-01-171 минarXiv:2601.11947экспресс
Кровь расскажет о себе по одной молекуле
Капля крови — это оживлённый город в миниатюре. Тысячи разных молекул снуют по нему, и каждая оставляет свой след. Но заглянуть в этот город напрямую трудно: улицы запутаны, а жителей так много, что пересчитать всех по отдельности не выходит. Учёные нашли способ услышать весь город сразу, не разбирая его на отдельных жителей. Они пропускают плазму крови через пору размером с одну молекулу.
Сверхпроводимость2026-01-141 минarXiv:2601.09513экспресс
Лазерный луч управляет сверхпроводимостью
Лазерный луч, как тонкий резец, выжигает кислород из сверхпроводящей плёнки. Там, где кислорода становится меньше, материал перестаёт проводить ток без сопротивления. Учёные использовали этот приём, чтобы рисовать на плёнке узоры, меняющие её свойства. Сверхпроводник — это материал, который при низкой температуре проводит электричество без потерь.