عملية إزالة المواد من السطح لإنشاء أنماط أو تنظيف السطح.النقش هو عملية إزالة المواد بشكل انتقائي من السطح لإنشاء أنماط أو تنظيف السطح أو تشكيل الهياكل. وهو تقنية أساسية في التصنيع الدقيق، تُستخدم لإنشاء الدوائر المعقدة والميزات على رقائق أشباه الموصلات، وكذلك في الفن والطباعة. في سياق العناوين المذكورة، يُستخدم النقش على الأرجح لتشكيل الأغشية الرقيقة أو إنشاء هياكل دقيقة في مواد مثل نيتريد الألومنيوم.
استُخدم النقش لقرون في الفن والزخرفة، لكن تطبيقه في الإلكترونيات بدأ في الخمسينيات من القرن العشرين مع تطور التصوير الضوئي والحاجة إلى تشكيل رقائق السيليكون للترانزستورات.
يمكن إجراء النقش بطرق كيميائية رطبة، حيث تذاب المادة في سائل حفار، أو بطرق جافة مثل النقش بالبلازما، حيث تقذف الأيونات النشطة السطح لإزالة المادة. تُضبط العملية باستخدام قناع—طبقة واقية تقاوم الحفار—بحيث تُزال المناطق المكشوفة فقط. وهذا يسمح بإنشاء أنماط دقيقة للغاية بدقة عالية، تصل إلى مقاييس النانومتر في تصنيع أشباه الموصلات الحديث.
يُستخدم النقش في إنتاج الدوائر المتكاملة، والأجهزة الدقيقة للسوائل، والمكونات البصرية، وكذلك في إنشاء أنسجة سطحية لتحسين الالتصاق أو إدارة الضوء.
تقنية النقش القديمة على الألواح المعدنية للطباعة، التي طُورت في القرن الخامس عشر، تستخدم نفس المبدأ الأساسي للإزالة الانتقائية للمواد كما في تصنيع أشباه الموصلات الحديث.


