Un espace clos d'où l'air et d'autres gaz sont retirés, utilisé dans certains processus de fabrication.Une chambre à vide est une enceinte scellée d'où l'air et d'autres gaz sont retirés pour créer un environnement à basse pression. En évacuant l'intérieur, les scientifiques et les ingénieurs peuvent contrôler les conditions internes avec une extrême précision, éliminant les molécules d'air qui pourraient interférer avec les expériences, contaminer les matériaux ou réagir avec des composants sensibles. Le degré de vide peut aller d'un vide grossier (vide primaire, semblable à celui d'un aspirateur domestique) à un vide ultra-poussé (pressions aussi basses que 10^-12 atmosphères), chacun permettant différents types de recherche et de fabrication.
Les premières chambres à vide ont été développées au XVIIe siècle par Otto von Guericke, qui a inventé la pompe à vide et a démontré la puissance de la pression atmosphérique avec sa célèbre expérience des hémisphères de Magdebourg. La technologie a progressé de manière significative à la fin du XIXe siècle avec le développement de l'ampoule à incandescence, qui nécessitait un vide pour empêcher le filament de brûler.
Les chambres à vide fonctionnent en utilisant des pompes à vide pour retirer les molécules de gaz du volume clos. Les pompes créent une différence de pression, provoquant l'écoulement du gaz hors de la chambre. Pour des vides plus poussés, plusieurs étages sont utilisés : les pompes mécaniques retirent d'abord la majeure partie du gaz, puis des pompes turbomoléculaires ou cryogéniques traitent les molécules restantes. La chambre elle-même est fabriquée à partir de matériaux qui dégazent peu (comme l'acier inoxydable) et est souvent chauffée à haute température pour éliminer les gaz adsorbés sur les parois. Le niveau de vide est mesuré avec des jauges qui détectent la pression ou la densité des molécules restantes.
Les chambres à vide sont essentielles dans la fabrication de semi-conducteurs (pour les processus de dépôt et de gravure), dans les accélérateurs de particules (pour empêcher les collisions du faisceau avec les molécules d'air), dans les tests de simulation spatiale et en microscopie électronique, où un vide est nécessaire pour permettre aux faisceaux d'électrons de se déplacer sans diffusion.
La plus grande chambre à vide du monde est l'installation de puissance spatiale de la NASA, qui mesure 30 mètres de diamètre et 37 mètres de haut, assez grande pour abriter une navette spatiale entièrement assemblée.
