
مجهر يصور الأسطح على المقياس الذري بقياس تيار النفق بين طرف حاد والعينة.مجهر المسح النفقي (STM) هو أداة تصوّر الأسطح على المقياس الذري عن طريق قياس تيار النفق الكمومي المتدفق بين طرف معدني حاد وعينة موصلة. عندما يُقرَّب الطرف إلى مسافة نانومتر من السطح، يمكن للإلكترونات أن «تنفق» عبر الفجوة — وهي ظاهرة كمومية بحتة تُعدّ مستحيلة في الفيزياء التقليدية. تيار النفق حساس للغاية للمسافة بين الطرف والعينة، إذ يتغير بمقدار عشرة أضعاف لكل أنغستروم من الانفصال، مما يسمح للمجهر بتمييز الذرات المفردة على السطح.
اخترع مجهر المسح النفقي في عام 1981 على يد غيرد بينيغ وهاينريش رورر في مختبر أبحاث آي بي إم في زيورخ، وقد حصلا على جائزة نوبل في الفيزياء عام 1986 تقديراً لإنجازهما. نُشرت أول صورة ناجحة بدقة ذرية لسطح سيليكون في عام 1983، مما أظهر قدرة الأداة غير المسبوقة.
يعمل مجهر المسح النفقي عن طريق مسح طرف حاد عبر سطح العينة مع الحفاظ على تيار نفقي ثابت باستخدام حلقة تغذية راجعة تضبط ارتفاع الطرف. أثناء حركة الطرف، تُرسم تضبيطات الجهد اللازمة لإبقاء التيار ثابتاً خريطةً للتضاريس السطحية بدقة ذرية. تعمل هذه التقنية فقط مع العينات الموصلة أو شبه الموصلة، إذ يجب أن يتدفق تيار نفقي. بالإضافة إلى التصوير، يمكن للمجهر أيضاً التلاعب بالذرات المفردة عن طريق تطبيق نبضات جهد أو بسحب الذرات عبر السطح، مما يجعله أداةً للمراقبة والبناء على المقياس النانوي.
تُستخدم مجاهر المسح النفقي في علم الأسطح لدراسة البنى على المقياس الذري، وفي تقنية النانو للتلاعب بالذرات والجزيئات المفردة، وفي صناعة أشباه الموصلات لتقييم جودة رقائق السيليكون والمواد الأخرى.
طرف مجهر المسح النفقي حاد للغاية لدرجة أنه ينتهي عادةً بذرة واحدة، والتيار النفقي الذي يقيسه يبلغ حوالي جزء من مليار من الأمبير فقط — ومع ذلك فهو كافٍ لإنتاج صور بدقة ذرية.












