تقنية تستخدم حزم الإلكترونات لتصوير المواد بدقة عالية.المجهرية الإلكترونية هي مجموعة من التقنيات التي تستخدم حزمة من الإلكترونات لتصوير الأجسام بدقة تتجاوز بكثير حدود المجاهر الضوئية. ولأن الإلكترونات لها طول موجي أقصر بكثير من الضوء المرئي، فإنها تستطيع تمييز التفاصيل حتى المقياس الذري. وقد أحدث هذا ثورة في علم الأحياء وعلوم المواد وتقنية النانو من خلال السماح بالتصوير المباشر للفيروسات والجزيئات وعيوب البلورات.
بُني أول مجهر إلكتروني على يد إرنست روسكا وماكس نول في عام 1931، وحصل روسكا على جائزة نوبل في الفيزياء عام 1986.
تُركّز حزمة من الإلكترونات بواسطة عدسات كهرومغناطيسية على عينة رقيقة. تتفاعل الإلكترونات مع العينة، فتتشتت أو تُمتص، ويُكبَّر النمط الناتج ويُسقط على كاشف لتكوين صورة. في المجهرية الإلكترونية الماسحة (SEM)، تُمسح الحزمة عبر السطح، وتُجمع الإلكترونات الثانوية لبناء صورة طوبوغرافية. في المجهرية الإلكترونية النافذة (TEM)، تمر الإلكترونات عبر العينة، مما يكشف عن البنية الداخلية.
تُستخدم على نطاق واسع في علوم المواد لوصف البنى النانوية، وفي علم الأحياء لتصوير العضيات الخلوية، وفي صناعة أشباه الموصلات لمراقبة جودة الرقائق الدقيقة.
دقة المجهر الإلكتروني الحديث عالية جدًا لدرجة أنه يمكنه تصوير الذرات الفردية، مما يجعل من الممكن رؤية مواقع الذرات في الشبكة البلورية.











