
طريقة ترسيب فيزيائي بالبخار تُقذف فيها الذرات من هدف بواسطة قصف البلازما.الترذيذ هو تقنية ترسيب فيزيائي بالبخار تُستخدم لإنشاء أغشية رقيقة من المواد على ركيزة. في غرفة مفرغة، يُولَّد بلازما بالقرب من مادة الهدف، وتقذف الأيونات النشطة من هذه البلازما الهدف، مما يقتلع الذرات عبر نقل الزخم. ثم تنتقل هذه الذرات المقذوفة وتتكثف على الركيزة، مكوّنة طبقة رقيقة ومتجانسة.
لاحظ وليام روبرت غروف هذه الظاهرة لأول مرة في عام 1852، حيث لاحظ انبعاث مادة من المهبط أثناء تجارب التفريغ الكهربائي. وأصبحت تقنية ترسيب عملية في منتصف القرن العشرين.
يُطبَّق جهد كهربائي بين الهدف (المهبط) والغرفة، مما يؤين غاز العملية (عادةً الأرجون) إلى بلازما. وتتسارع أيونات الأرجون الموجبة نحو الهدف سالب الشحنة. وعند الاصطدام، تتصادم مع ذرات الهدف في سلسلة تصادمات، ناقلةً طاقة كافية لاقتلاع ذرات السطح. وتترسب هذه الذرات المترذذة على الركيزة، مكوّنة الفيلم ذرةً بذرة. ويمكن تعزيز العملية باستخدام مجالات مغناطيسية (الترذيذ المغناطيسي) لزيادة كثافة البلازما ومعدل الترسيب.
تُستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات لترسيب التوصيلات المعدنية، وفي البصريات لطلاءات مضادة للانعكاس، وفي تخزين البيانات للأغشية المغناطيسية الرقيقة.
الترذيذ هو نفس العملية التي تؤدي إلى تآكل جدران مفاعلات الاندماج ببطء، حيث تقذف أيونات البلازما وعاء الاحتواء — وهو تحدٍ هندسي كبير لمحطات الطاقة المستقبلية.










