طبقة أساسية من السيليكون تُرسَّب عليها مواد أخرى لصنع الأجهزة الإلكترونية.الركيزة السيليكونية هي شريحة مسطحة ورقيقة من السيليكون البلوري تُستخدم كطبقة أساسية تُبنى عليها الدوائر الإلكترونية أو المكونات البصرية أو الأغشية الرقيقة الأخرى. وهي المادة الأولية لمعظم الدوائر المتكاملة والمعالجات الدقيقة والعديد من أنواع الحساسات. نقاء الركيزة واتجاه بلورتها وجودة سطحها أمور حاسمة لأنها تؤثر على أداء وإنتاجية الأجهزة المبنية فوقها.
يعود استخدام السيليكون كركيزة شبه موصلة إلى الخمسينيات من القرن العشرين، عندما حل محل الجرمانيوم في الترانزستورات المبكرة بسبب خصائصه الحرارية المتفوقة وقدرته على تكوين أكسيد طبيعي مستقر (ثاني أكسيد السيليكون). جعل تطوير التقنية المستوية على يد جان هورني وآخرين في شركة فيرتشايلد لأشباه الموصلات في عام 1959 ركائز السيليكون معيارًا للدوائر المتكاملة.
تُقطع ركائز السيليكون عادةً من سبيكة بلورية مفردة تُنمى عبر عملية تشوخرالسكي، ثم تُصقل حتى تصل إلى لمعان مرآتي. تُضاف طبقات الأجهزة عبر عمليات مثل التطعيم (إضافة شوائب لتعديل الموصلية) والترسيب (مثل الأكاسيد أو المعادن) والطباعة الحجرية (النمذجة). توفر الركيزة دعمًا ميكانيكيًا وعزلًا كهربائيًا، وتسمح خصائصها شبه الموصلة بإنشاء الترانزستورات والمكونات النشطة الأخرى.
تُستخدم ركائز السيليكون في جميع الإلكترونيات الحديثة تقريبًا، بما في ذلك معالجات الحاسوب ورقائق الذاكرة والخلايا الشمسية وأجهزة النظم الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS)، وكذلك في أبحاث الحوسبة الكمومية والفوتونيات.
يمكن لرقاقة سيليكون واحدة بقطر 300 مليمتر أن تنتج أكثر من 500 شريحة معالجة فردية، تحتوي كل منها على مليارات الترانزستورات.














