Метод, использующий электронные пучки для получения изображений материалов с высоким разрешением.Электронная микроскопия — это семейство методов, использующих пучок электронов для получения изображений объектов с разрешением, значительно превосходящим возможности оптических микроскопов. Поскольку длина волны электронов намного меньше, чем у видимого света, они позволяют различать детали вплоть до атомного масштаба. Это произвело революцию в биологии, материаловедении и нанотехнологиях, позволив напрямую наблюдать вирусы, молекулы и дефекты кристаллической решётки.
Первый электронный микроскоп был создан Эрнстом Руской и Максом Кноллем в 1931 году, за что Руска получил Нобелевскую премию по физике в 1986 году.
Пучок электронов фокусируется электромагнитными линзами на тонком образце. Электроны взаимодействуют с образцом, рассеиваясь или поглощаясь, а полученная картина увеличивается и проецируется на детектор, формируя изображение. В растровой электронной микроскопии (РЭМ) пучок сканирует поверхность, а вторичные электроны собираются для создания топографического изображения. В просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) электроны проходят сквозь образец, выявляя его внутреннюю структуру.
Широко используется в материаловедении для характеризации наноструктур, в биологии для визуализации клеточных органелл, а также в полупроводниковой промышленности для контроля качества микросхем.
Разрешение современного электронного микроскопа настолько велико, что позволяет получать изображения отдельных атомов, что даёт возможность видеть положения атомов в кристаллической решётке.











