
مركب كيميائي يُستخدم لتصنيع بنى فوتونية مجهرية مثل الأمشاط.نيتريد السيليكون (Si3N4) هو مركب كيميائي من السيليكون والنيتروجين، يُعرف بصلابته الاستثنائية، وثباته الحراري، وشفافيته البصرية في نطاقي الأشعة تحت الحمراء والضوء المرئي. في الفوتونيات الحديثة، يُعد مادة أساسية لتصنيع بنى مجهرية مثل الرنانات الضوئية الدقيقة وأمشاط التردد. انخفاض الفقد البصري فيه وتباين معامل انكساره العالي مقارنة بالسيليكا يجعلانه مثاليًا للتحكم بالضوء على مستوى الرقاقة، مما يتيح أجهزة مدمجة تولّد ترددات ضوئية دقيقة.
طُوّر نيتريد السيليكون في خمسينيات القرن العشرين لصناعة السيراميك عالي الحرارة، وأصبح مادة فوتونية في العقد الأول من القرن الحادي والعشرين، مع أعمال رائدة على الرنانات الدقيقة من قبل مجموعات مثل تلك الموجودة في كالتيك وEPFL.
يُترسّب نيتريد السيليكون كأغشية رقيقة باستخدام الترسيب الكيميائي للبخار، ثم يُنقش بواسطة الليثوغرافيا والحفر لإنشاء موجّهات الضوء والرنانات. بنيته البلورية أو غير المتبلورة تمنحه متانة ميكانيكية وامتصاصًا منخفضًا. في الرنانات الدقيقة، يدور الضوء ويتراكم شدته، مما يتيح تأثيرات لاخطية مثل خلط الموجات الأربع، الذي يولّد ترددات جديدة ويشكّل أمشاطًا. خصائص المادة تسمح بحصر الضوء بإحكام وتفاعل فعّال مع مواد أخرى على الرقاقة.
يُستخدم في الدوائر الفوتونية المتكاملة للاتصالات، والاستشعار، والبصريات الكمومية، بما في ذلك أمشاط التردد المدمجة لضبط الوقت بدقة والتحليل الطيفي.
نيتريد السيليكون صلب جدًا لدرجة أنه يُستخدم في المحامل الكروية وأدوات القطع، ومع ذلك يمكن هندسته إلى موجّهات ضوء تنقل الضوء بفقد أقل من 1 ديسيبل لكل متر.






















