جهاز يحوّل الموجات الصوتية إلى إشارات كهربائية، وغالبًا ما يستخدم تقنية MEMS.الميكروفون هو محوّل طاقة يحوّل تغيّرات الضغط الصوتي إلى إشارات كهربائية. تعتمد الميكروفونات الحديثة غالبًا على تقنية الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS)، حيث يتحرك غشاء صغير استجابةً للموجات الصوتية، مما يغيّر سعة عنصر الاستشعار. يُحوَّل هذا التغيّر في السعة بعد ذلك إلى إشارة جهد. تُستخدم ميكروفونات MEMS على نطاق واسع في الهواتف الذكية وأجهزة السمع والأجهزة التي تُتحكم بالصوت، نظرًا لصغر حجمها وانخفاض استهلاكها للطاقة وموثوقيتها العالية.
طوّر ألكسندر غراهام بيل وتوماس واتسون أول ميكروفون عملي في عام 1876 للهاتف. ظهر ميكروفون MEMS في الثمانينيات، مع ظهور أول أجهزة تجارية في أوائل العقد الأول من القرن الحادي والعشرين.
تصطدم الموجات الصوتية بغشاء رقيق ومرن معلّق فوق لوحة خلفية صلبة. يؤدي فرق الضغط بين مقدمة الغشاء وخلفه إلى اهتزازه، مما يغيّر الفجوة بين الغشاء واللوحة الخلفية. هذا يغيّر سعة البنية. تقيس دائرة متكاملة هذا التغيّر في السعة وتُخرج إشارة كهربائية تتناسب مع ضغط الصوت. يحدد تصميم الغشاء وشدّه والمنافذ الصوتية استجابة التردد والحساسية.
تُستخدم ميكروفونات MEMS في جميع الأجهزة الإلكترونية المحمولة الحديثة تقريبًا، وكذلك في أنظمة السيارات لإلغاء الضوضاء وفي الأجهزة الطبية مثل أجهزة السمع.
أصغر ميكروفونات MEMS أصغر من حبة الأرز، ومع ذلك يمكنها التقاط النطاق الكامل للسمع البشري.


















