
أداة تستخدم تداخل الليزر لقياس الإزاحات الصغيرة، استُخدمت سابقًا للأغشية.مقياس تداخل ليزري هو أداة تستخدم تداخل ضوء الليزر لقياس إزاحات أو مسافات أو تغيرات في معامل الانكسار صغيرة للغاية. يعمل بتقسيم شعاع الليزر إلى مسارين، ثم عكسهما وإعادة دمجهما. أي اختلاف في أطوال المسارين يسبب إزاحة طورية تظهر كتغير في نمط التداخل. وهذا يتيح قياسات بدقة تصل إلى أجزاء من طول موجة الضوء.
يعود مبدأ قياس التداخل إلى أعمال ألبرت ميكلسون في ثمانينيات القرن التاسع عشر، لكن مقياس التداخل الليزري أصبح عمليًا بعد اختراع الليزر في عام 1960.
يقسم مقسم شعاع ضوء الليزر إلى شعاعين. يسافر أحدهما إلى مرآة مرجعية، والآخر إلى مرآة هدف. بعد الانعكاس، يُعاد دمج الشعاعين ويتداخلان. إذا تحركت مرآة الهدف بمقدار ضئيل، يتحول نمط التداخل. وبعدّ هذه التحولات، يمكن قياس الإزاحة بدقة نانومترية أو حتى بيكومترية. غالبًا ما تستخدم مقاييس التداخل الحديثة مسارات متعددة أو تجاويف فابري-بيرو لتضخيم التأثير.
تُستخدم مقاييس التداخل الليزرية في كاشفات الموجات الثقالية مثل LIGO، وفي القياسات الدقيقة لتصنيع أشباه الموصلات، وفي قياس الاهتزازات الدقيقة للأغشية في التجارب الفيزيائية.
كاشفات الموجات الثقالية LIGO هي في الأساس مقاييس تداخل ليزرية عملاقة بأذرع طولها 4 كيلومترات، قادرة على قياس تغيرات في الطول أصغر بآلاف المرات من حجم البروتون.



















