Une couche de base en silicium sur laquelle d'autres matériaux sont déposés pour les dispositifs électroniques.Un substrat de silicium est une tranche plate et mince de silicium cristallin qui sert de couche de base sur laquelle sont fabriqués des circuits électroniques, des composants optiques ou d'autres couches minces. C'est le matériau de départ pour la plupart des circuits intégrés, des microprocesseurs et de nombreux types de capteurs. La pureté du substrat, son orientation cristalline et la qualité de sa surface sont critiques car elles influencent les performances et le rendement des dispositifs construits par-dessus.
L'utilisation du silicium comme substrat semi-conducteur remonte aux années 1950, lorsqu'il a remplacé le germanium dans les premiers transistors en raison de ses propriétés thermiques supérieures et de sa capacité à former un oxyde natif stable (le dioxyde de silicium). Le développement de la technologie planaire par Jean Hoerni et d'autres chez Fairchild Semiconductor en 1959 a fait des substrats de silicium la norme pour les circuits intégrés.
Les substrats de silicium sont généralement découpés dans un lingot monocristallin obtenu par le procédé de Czochralski, puis polis pour obtenir un fini miroir. Les couches de dispositifs sont ajoutées par des procédés tels que le dopage (ajout d'impuretés pour modifier la conductivité), le dépôt (par exemple d'oxydes ou de métaux) et la lithographie (structuration). Le substrat fournit un support mécanique et une isolation électrique, et ses propriétés semi-conductrices permettent la création de transistors et d'autres composants actifs.
Les substrats de silicium sont utilisés dans pratiquement toute l'électronique moderne, y compris les processeurs d'ordinateurs, les puces mémoire, les cellules solaires et les dispositifs MEMS, ainsi que dans la recherche sur le calcul quantique et la photonique.
Une seule tranche de silicium de 300 millimètres peut produire plus de 500 puces de processeur individuelles, chacune contenant des milliards de transistors.














