
Un composé chimique utilisé pour fabriquer des structures photoniques microscopiques comme les peignes.Le nitrure de silicium (Si3N4) est un composé chimique de silicium et d'azote, réputé pour sa dureté exceptionnelle, sa stabilité thermique et sa transparence optique dans les domaines infrarouge et visible. En photonique moderne, c'est un matériau clé pour la fabrication de structures microscopiques telles que les microrésonateurs optiques et les peignes de fréquences. Sa faible perte optique et son contraste d'indice de réfraction élevé avec la silice le rendent idéal pour la manipulation de la lumière sur puce, permettant de réaliser des dispositifs compacts qui génèrent des fréquences optiques précises.
Le nitrure de silicium a été développé dans les années 1950 pour les céramiques à haute température et est devenu un matériau photonique dans les années 2000, avec des travaux pionniers sur les microrésonateurs menés par des groupes comme ceux de Caltech et de l'EPFL.
Le nitrure de silicium est déposé en couches minces par dépôt chimique en phase vapeur, puis structuré par lithographie et gravure pour créer des guides d'ondes et des résonateurs. Sa structure cristalline ou amorphe lui confère une robustesse mécanique et une faible absorption. Dans les microrésonateurs, la lumière circule et son intensité s'amplifie, ce qui permet des effets non linéaires comme le mélange à quatre ondes, générant de nouvelles fréquences et formant des peignes. Les propriétés du matériau permettent un confinement étroit de la lumière et une interaction efficace avec d'autres matériaux sur la puce.
Il est utilisé dans les circuits photoniques intégrés pour les télécommunications, la détection et l'optique quantique, notamment les peignes de fréquences compacts pour la mesure précise du temps et la spectroscopie.
Le nitrure de silicium est si dur qu'il est utilisé dans les roulements à billes et les outils de coupe, mais il peut être transformé en guides d'ondes qui guident la lumière avec des pertes inférieures à 1 dB par mètre.






















