
Химическое соединение, используемое для создания микроскопических фотонных структур, таких как гребёнки.Нитрид кремния (Si3N4) — это химическое соединение кремния и азота, известное своей исключительной твёрдостью, термической стабильностью и оптической прозрачностью в инфракрасном и видимом диапазонах. В современной фотонике это ключевой материал для создания микроскопических структур, таких как оптические микрорезонаторы и частотные гребёнки. Низкие оптические потери и высокий контраст показателя преломления по отношению к диоксиду кремния делают его идеальным для управления светом на чипе, позволяя создавать компактные устройства, генерирующие точные оптические частоты.
Нитрид кремния был разработан в 1950-х годах для высокотемпературной керамики и стал фотонным материалом в 2000-х, с пионерскими работами по микрорезонаторам в таких группах, как в Калтехе и EPFL.
Нитрид кремния осаждается в виде тонких плёнок методом химического осаждения из паровой фазы, затем структурируется с помощью литографии и травления для создания волноводов и резонаторов. Его кристаллическая или аморфная структура обеспечивает механическую прочность и низкое поглощение. В микрорезонаторах свет циркулирует и накапливает интенсивность, что позволяет реализовать нелинейные эффекты, такие как четырёхволновое смешение, которое генерирует новые частоты и формирует гребёнки. Свойства материала обеспечивают сильное удержание света и эффективное взаимодействие с другими материалами на чипе.
Он используется в интегральных фотонных схемах для телекоммуникаций, сенсорики и квантовой оптики, включая компактные частотные гребёнки для точного измерения времени и спектроскопии.
Нитрид кремния настолько твёрд, что используется в шарикоподшипниках и режущих инструментах, однако его можно превратить в волноводы, направляющие свет с потерями менее 1 дБ на метр.






















